เครื่องทำความสะอาดอัลตราโซนิก เป็นเครื่องมือที่ใช้สารเคมีทำความสะอาดอัลตราโซนิกร่วมกับคาวิเทชั่นในการทำความสะอาดชิ้นงาน ประการแรก การกระทำทางเคมีของสารทำความสะอาดจะใช้ในการเจาะและละลายสิ่งสกปรก จากนั้นจึงใช้แรงกระแทกที่เกิดขึ้น โพรงอากาศล้ำเสียง ใช้ในการลอกชั้นสิ่งสกปรกบนพื้นผิวของวัตถุออก กวน กระจาย ทำให้เป็นอิมัลชัน และป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกที่หลุดออกจากพื้นผิวของวัตถุกลับเกาะติดกับวัตถุอีกครั้ง
