เครื่องเคลือบสูญญากาศ Multi-arc Series

เครื่องเคลือบไอออนแบบหลายอาร์ค PVD เป็นอุปกรณ์เคลือบไอออนที่มีประสิทธิภาพ ไม่เป็นอันตราย และปราศจากมลภาวะ ซึ่งมีข้อดีคือ ความเร็วการสะสมที่รวดเร็ว อัตราการไอออไนเซชันสูง พลังงานไอออนสูง การทำงานของอุปกรณ์ที่เรียบง่าย ต้นทุนต่ำ และปริมาณการผลิตขนาดใหญ่ หน้าที่หลักของเครื่องเคลือบไอออนแบบหลายอาร์ค PVD ได้แก่ การเคลือบฟิล์มโลหะแข็ง ฟิล์มสารประกอบโลหะ และฟิล์มตกแต่งบนพื้นผิวโลหะ เซรามิก แก้ว และวัสดุอื่น ๆ มีคุณลักษณะของความเร็วในการปั๊มที่รวดเร็ว สุญญากาศที่เสถียร ความสามารถในการรับน้ำหนักมาก และความสม่ำเสมอของการเคลือบที่ดี หลักการทำงานของมันคือการนำเทคโนโลยีการปล่อยอาร์กสุญญากาศมาใช้กับเทคโนโลยีแหล่งกำเนิดการระเหย ซึ่งจะจุดประกายแหล่งกำเนิดการระเหย (แคโทด) ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ก่อให้เกิดการปล่อยส่วนโค้งแบบยั่งยืนในตัวเองระหว่างแคโทดและแอโนด และปล่อยไอออนของวัสดุแคโทดจากความสว่าง จุดของส่วนโค้งแคโทด เทคโนโลยีนี้ไม่เพียงแต่สามารถเคลือบพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ที่เป็นโลหะ แต่ยังรวมถึงพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ที่ไม่ใช่โลหะด้วย สามารถเคลือบฟิล์มโลหะ ไทเทเนียมไนไตรด์ ไทเทเนียมคาร์ไบด์ เซอร์โคเนียมไนไตรด์ โครเมียมไนไตรด์ รวมถึงฟิล์มผสม เช่น ไทเทเนียม นิกเกิล โครเมียม ทองแดง ฟิล์มซูเปอร์ฮาร์ดหลายชั้น ฟิล์มทองคำเจือไทเทเนียมไนไตรด์ และฟิล์มโลหะผสม และ เสร็จสิ้นกระบวนการประมวลผลทั้งหมดในเวลาอันสั้น